高纯 六氟化硫

包装:采用40l、44l钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到2-10l的气瓶中。

 

用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品;变压器中的绝缘介质;金属冶炼中的保护气氛。

 

理化性质: 六氟化硫(sf6)常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。其惰性与氮气相似。它具有极好的热稳定性,纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有*的电绝缘性和灭弧特性,相同条件下,其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上,灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为-50.8℃,可作为-45-0℃温度范围内的特殊制冷剂,又因其耐热性好,是一种稳定的高温热载体。